| 溅射薄膜压力敏感元件
n 长期稳定
n 具有温度内补偿
n 具有压力和温度一体化双输出
n 信号线性化
n 小型化(芯片直径7mm)
薄膜压力敏感元件分两种结构类型：
1．焊接型（W）：通过焊接（激光，电子束，微束等离子，微束亚弧焊）方式实现压力敏感元件与引压接头的连接。
2．法兰型（F）：通过胶圈或垫片挤压方式实现压力敏感元件与引压接头的连接。
引线方式：1、3为供电激励源（1：地，3：电源+）
2、4为信号输出端
（1、5之间为测温电阻，作为内补偿电阻）
焊点材料：锡/铅。可直接用烙铁锡焊（建议使用高温焊锡）
镍。使用超声压焊
技术参数：
压力量程（bar）5, 7, 10, 16, 20, 35, 70, 100, 160, 250, 400, 700,1000, 1600, 1800, 2200
允许过负载（% FS） 200% （破坏压力：10倍满量程压力）
热零点漂移（%FS℃） 小于0.005
热灵敏度漂移（%FS℃） 小于0.005
长期稳定性 （%FS/年） 小于+0.1
工作温度范围（℃） -70℃~200℃（特殊要求从-100℃~300℃）
桥臂电阻 （KΩ） 3.2+ 0.2
绝缘电阻 （MΩ） 大于500
频率响应 大于10KHZ
灵敏度（mV/V）及非线性
量程（bar） 5 7 10 16 20 35
灵敏度（mV/V） 0.99+0.25 1.27+0.25 1.21+0.2 1.24+0.2 1.30+0.2 1.67+0.2
最大非线性
（% FS） 0.4 0.35 0.20 0.15 0.15 0.15
量程（bar） 70 100 160 250 400 700
灵敏度（mV/V） 1.81+0.2 2.26+0.3 1.98+0.3 2.19+0.3 2.13+0.2 2.26+0.2
最大非线性
（% FS） 0.15 0.15 0.15 0.15 0.10 0.10
量程（bar） 1000 1600 1800 2200
灵敏度（mV/V） 1.33+0.25 1.40+0.25 1.08+0.2 1.32+0.15
最大非线性
（% FS） 0.05 0.05 0.05 0.05
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力敏传感器
技术产品应用领域: